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電子制成清洗中在線清洗劑監測系統

合明科技 ?? 2379 Tags:電子制成清洗在線清洗劑監測系統

電子制成清洗中在線清洗劑監測系統

在線化學品監測系統 (Inline Chemical Monitoring System, ICMS),電子制程清洗過程中對清洗劑和超純水(UPW)的實時監測可提供用于改善制造工藝和最大程度提升產品產量的重要信息。在通過罐或桶的運輸過程、清洗劑供應中心、分配過程以及使用過程中,對制程清洗劑中的金屬雜質進行監測,需要全天候進行化學品監測,驗證低ppt甚至亞ppt級的金屬污染。為提供針對在線制程清洗劑分析的解決方案。在線化學品監測系統通過遠程布設多個化學品采樣點位并將其匯聚閥進樣中心模塊,最后導入ICP-MS進行檢測。這種方式既減少了人工采樣可能的污染,又做到了實時監測。

電子制程清洗.jpg

一、在線清洗劑監測系統的作用:

1、遠程在線取樣,適用于制程化學品和UPW(從長達300m的距離處)。

2、小體積取樣(<10mL),最大程度減少珍貴高純度化學品的消耗量。

3、快速徹底的清洗。

4、針對每種化學品的專用傳輸線。

二、在線清洗劑監測系統的優勢:

1、最大程度減小由意外污染引起的產品損失。
2、能夠研究和消除污染源。
3、優化化學品壽命,并減少處置和更換成本。
4、提高產品產量。
5、減少人員與有害化學樣品的接觸,提高安全性并減小手動操作誤差。
6、可定制的軟件,用戶自定義的靈活參數對每個取樣工作站進行污染控制。

在線清洗劑監測系統.jpg

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