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電子制成清洗中在線清洗劑監測系統
在線化學品監測系統 (Inline Chemical Monitoring System, ICMS),電子制程清洗過程中對清洗劑和超純水(UPW)的實時監測可提供用于改善制造工藝和最大程度提升產品產量的重要信息。在通過罐或桶的運輸過程、清洗劑供應中心、分配過程以及使用過程中,對制程清洗劑中的金屬雜質進行監測,需要全天候進行化學品監測,驗證低ppt甚至亞ppt級的金屬污染。為提供針對在線制程清洗劑分析的解決方案。在線化學品監測系統通過遠程布設多個化學品采樣點位并將其匯聚閥進樣中心模塊,最后導入ICP-MS進行檢測。這種方式既減少了人工采樣可能的污染,又做到了實時監測。
一、在線清洗劑監測系統的作用:
1、遠程在線取樣,適用于制程化學品和UPW(從長達300m的距離處)。
2、小體積取樣(<10mL),最大程度減少珍貴高純度化學品的消耗量。
3、快速徹底的清洗。
4、針對每種化學品的專用傳輸線。
二、在線清洗劑監測系統的優勢:
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